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產品名稱：MC 氣體標準質量流量控制器
發布時間：2023-12-22
產品型號：MC型
產品特點：MC 氣體標準質量流量控制器控制響應很快、很穩定的質量流量控制器，可測量并控制低至2.5微升的流量，依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。
MC 氣體標準質量流量控制器產品介紹：
MC 氣體標準質量流量控制器全球控制響應很快、很穩定的質量流量控制器，可測量并控制低至2.5微升的流量，依照用戶應用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。
所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間（ H2 為 10,000 SLPM）
監測四個變量： 質量流量、體積流量、壓力和溫度
控制三個變量之一：質量流量、體積流量或壓力
預加載98 多種氣體校準且可供用戶選擇
本地、模擬或數字控制，包括工業協議
技術參數：
穩態控制范圍：滿量程的0.01% – 100%
NIST 可追溯校準
標準精度：讀數的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準
高精度：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準
重復性：±（讀數的0.1% + 滿量程的0.02%）
典型控制響應時間：快至 30 ms
預熱時間：<1秒
兼容氣體：98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體
工作溫度：–10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力：160 PSIA (11 barA)